Επιλογή αντλίας κενού ---Οδηγός
Όταν επιλέγετε μια αντλία κενού, πρέπει να δώσετε προσοχή στα ακόλουθα θέματα:
1. Η πίεση λειτουργίας της αντλίας κενού πρέπει να πληροί τις τελικές απαιτήσεις κενού και πίεσης λειτουργίας του εξοπλισμού κενού. Για παράδειγμα: η επίστρωση κενού απαιτεί βαθμό κενού 110-5mmHg και ο βαθμός κενού της επιλεγμένης αντλίας κενού πρέπει να είναι τουλάχιστον 510-6mmHg. Συνήθως ο βαθμός κενού της αντλίας επιλέγεται να είναι κατά το ήμισυ έως μία τάξη μεγέθους υψηλότερος από τον βαθμό κενού του εξοπλισμού κενού.
2. Επιλέξτε σωστά το σημείο εργασίας της αντλίας κενού. Κάθε τύπος αντλίας έχει ένα συγκεκριμένο εύρος πίεσης λειτουργίας, όπως 10-3~10-7mmHg για μια αντλία διάχυσης. Μέσα σε ένα τόσο μεγάλο εύρος πίεσης, η ταχύτητα άντλησης της αντλίας αλλάζει με την πίεση και το σταθερό εύρος πίεσης λειτουργίας της είναι 510-4 ~510-6mmHg. Επομένως, το σημείο εργασίας της αντλίας θα πρέπει να επιλέγεται εντός αυτού του εύρους και δεν επιτρέπεται να λειτουργεί κάτω από 10-8mmHg για μεγάλο χρονικό διάστημα. Ένα άλλο παράδειγμα είναι ότι η αντλία εξάχνωσης τιτανίου μπορεί να λειτουργήσει σε 10-2mmHg, αλλά η πίεση λειτουργίας της θα πρέπει να είναι μικρότερη από 110-5mmHg.
3. Η αντλία κενού θα πρέπει να μπορεί να εκκενώνει όλο το αέριο που παράγεται κατά τη διαδικασία του εξοπλισμού κενού υπό την πίεση λειτουργίας της. 4. Συνδυάστε σωστά την αντλία κενού. Δεδομένου ότι οι αντλίες κενού έχουν επιλεκτικές δυνατότητες άντλησης, μερικές φορές ένας τύπος αντλίας δεν μπορεί να καλύψει τις απαιτήσεις άντλησης και πολλές αντλίες πρέπει να συνδυαστούν για να αλληλοσυμπληρώνονται για να ικανοποιήσουν τις απαιτήσεις άντλησης. Για παράδειγμα, μια αντλία εξάχνωσης τιτανίου έχει υψηλή ταχύτητα άντλησης υδρογόνου, αλλά δεν μπορεί να αντλήσει ήλιο, ενώ μια τριπολική αντλία ιόντων διασκορπισμού (ή μια αντλία ιόντων ασύμμετρης καθόδου με διόδους) έχει μια ορισμένη ταχύτητα άντλησης αργού. Σε συνδυασμό, η συσκευή κενού θα αποκτήσει καλύτερο βαθμό κενού. Επιπλέον, ορισμένες αντλίες κενού δεν μπορούν να λειτουργήσουν υπό ατμοσφαιρική πίεση και απαιτούν προ-κενό. Ορισμένες αντλίες κενού έχουν πιέσεις εξόδου χαμηλότερες από την ατμοσφαιρική πίεση και απαιτούν αντλία υποστήριξης, επομένως οι αντλίες πρέπει να συνδυαστούν.
5. Απαιτήσεις για ρύπανση από πετρέλαιο σε εξοπλισμό κενού. Εάν ο εξοπλισμός απαιτεί αυστηρά χωρίς λάδια, θα πρέπει να επιλεγούν διάφορες αντλίες χωρίς λάδι, όπως: αντλίες δακτυλίου νερού, αντλίες προσρόφησης μοριακού κόσκινου, αντλίες ιόντων διασκορπισμού, κρυογονικές αντλίες κ.λπ. Εάν οι απαιτήσεις δεν είναι αυστηρές, μπορείτε να επιλέξετε έχετε μια αντλία λαδιού και προσθέστε ορισμένα μέτρα κατά της ρύπανσης από πετρέλαιο, όπως η προσθήκη παγίδων κρύου, διαφράγματα, λαδιοπαγίδες κ.λπ., για να επιτύχετε τις απαιτήσεις καθαρού κενού.
6. Κατανοήστε τη σύνθεση του αντλούμενου αερίου, εάν περιέχει συμπυκνώσιμο ατμό, εάν υπάρχει σωματιδιακή σκόνη, εάν είναι διαβρωτικό κ.λπ. Όταν επιλέγετε μια αντλία κενού, πρέπει να γνωρίζετε τη σύνθεση του αερίου και να επιλέξετε την αντίστοιχη αντλία για το αέριο να αντληθεί. Εάν το αέριο περιέχει ατμούς, σωματίδια και διαβρωτικά αέρια, θα πρέπει να εξετάσετε το ενδεχόμενο να εγκαταστήσετε βοηθητικό εξοπλισμό, όπως συμπυκνωτές, συλλέκτες σκόνης κ.λπ., στον αγωγό εισαγωγής αέρα της αντλίας.
7. Ποιες είναι οι επιπτώσεις των ατμών λαδιού που απορρίπτονται από την αντλία κενού στο περιβάλλον; Εάν το περιβάλλον δεν επιτρέπει τη ρύπανση, μπορείτε να επιλέξετε μια αντλία κενού χωρίς λάδι ή να αδειάσετε τους ατμούς λαδιού σε εξωτερικούς χώρους.
8. Η δόνηση που δημιουργείται από την αντλία κενού κατά τη λειτουργία έχει κάποια επίδραση στη διαδικασία και στο περιβάλλον; Εάν η διαδικασία δεν το επιτρέπει, θα πρέπει να επιλεγεί μια αντλία χωρίς κραδασμούς ή να ληφθούν αντικραδασμικά μέτρα.
9. Η τιμή, το κόστος λειτουργίας και συντήρησης των αντλιών κενού.